The physical properities of cantilever, in particular the spring constant has important influence on the microcomponent of MEMS.
摘
悬臂梁
物理性能参数尤其
弹性系数对MEMS中微器件性能有着
影响。
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MEMS
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abbr. Micro-electromechanical Systems 微型机电系统
MEMS will be one of the most important realm of science in 21th century,and micropower which is a branch of MEMS directly relates to development of MEMS in some applied realm.
微机电系统(MEMS)将21世纪最研究
一,而微能源器件MEMS其中一个分支,其发展直接关系到MEMS在某些中应用。
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译
