The physical properities of cantilever, in particular the spring constant has important influence on the microcomponent of MEMS.
摘要悬臂梁的物理性能参数尤其
弹性
数对MEMS中微器件的性能有着重要的影响。
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MEMS
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abbr. Micro-electromechanical Systems 微型
统
统MEMS will be one of the most important realm of science in 21th century,and micropower which is a branch of MEMS directly relates to development of MEMS in some applied realm.
微
统(MEMS)将21世纪最重要的研究领域之一,而微能源器件MEMS其中一个重要分支,其发展直接关到MEMS在某些领域中的应用。
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